简单罗列一下，后面慢慢完善。只涉及仪器类，不涉及半导体ebeam设备

术语

• 【TEM】透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope）：是最早发展出来的电子显微镜，为了和后面STEM区分，有时也叫做常规透射电子显微镜（Conventional Transmission Electron Microscope，CTEM）
• 【SEM】扫描电子显微镜 (Scanning Electron Microscope)
• 【STEM】扫描透射电子显微镜（Scanning Transmission Electron Microscope）：结合了TEM和SEM的技术特点，通过电子束扫描样品并在透射模式下成像。

发展历史

• 1924 年，法国物理学家路易·德布罗意（Louis de Broglie）提出电子具有波粒二象性的假设。该理论表明电子的波长远小于可见光波长，也就预示着可以突破光学显微镜的分辨率极限，为电子显微镜的发明奠定了理论基础。德布罗意获得1929年诺贝尔物理学奖。
• 1926 年，德国物理学家布许（H. Brush）发现磁场或静电场可以用作“电子透镜”，用于聚焦电子束，提出了电子在磁场中的运动理论。这一发现为构建电子光学系统提供了可能性，开启了电子光学研究的领域。
• 【TEM】1932 年，德国科学家马克斯·克诺尔（Max Knoll）和恩斯特·鲁斯卡（Ernst Ruska）发明了第一台透射电子显微镜（TEM）。这台显微镜能够成像电子源，并证明了电子显微镜的可行性，标志着电子显微镜的诞生。Ernst Ruska 因此获得 1986 年诺贝尔物理学奖。
• 【TEM】1933 年，恩斯特·鲁斯卡改进了透射电子显微镜，使其可以成像样品，而不仅是电子源。此后，电子显微镜的分辨率逐渐超过光学显微镜。
• 【SEM】1935 年，马克斯·克诺尔生成了固体表面的电子扫描图像。这一实验验证了使用电子束扫描表面来获取图像的可能性，为扫描电子显微镜（SEM）的发展奠定了实验基础。
• 【SEM】1940 年，德国物理学家冯·阿登纳（Manfred von Ardenne）在其研究中正式提出了扫描电子显微镜（SEM）的概念，并对其理论框架进行了总结。奠定了现代 SEM 的基础。
• 1946 年，第二次世界大战后，电子显微镜的建设和发展得到重新推动。同年，像散校正器（stigmator）的发明解决了物镜像差问题，大幅提高了显微镜的成像质量。
• 1950 年代，透射电子显微镜（TEM）逐步实现商业化应用，分辨率达到当时的亚纳米级水平。
• 【STEM】1965 年，扫描透射电子显微镜（STEM）概念提出，结合了 TEM 和 SEM 的工作原理，使透射和扫描成像功能合二为一。
• 【Cryo-EM】1970 年代，瑞士科学家 Jacques Dubochet 提出了冷冻电镜的概念。他尝试通过快速冷冻样品并使用低温条件下的电子显微镜观察样品，以避免样品因电子束轰击而受损。同时，Joachim Frank 开发了单颗粒分析方法，为 Cryo-EM 的发展奠定了重要基础。
• 【Cryo-EM】1980 年代，Jacques Dubochet 和团队在快速冷冻技术（vitrification）的基础上，开发了冷冻样品制备的方法。他们首次成功在冷冻电镜中观察到了生物样品的结构。同时，Richard Henderson 利用冷冻电镜解析了蛋白质的三维结构。冷冻电镜成为生物样品研究的重要工具。Jacques Dubochet、Joachim Frank 和 Richard Henderson 因此获得 2017 年诺贝尔化学奖。
• 1987年，环扫电镜面世
• 1990年，飞利浦发布由PC控制的XL电镜，扫描电镜开始数字化
• 1990 年代，场发射扫描电子显微镜（FESEM）问世，显著提高了表面成像的分辨率和对比度。
• 1993年，双束电镜面世
• 1997 年：德国科学家 Max Haider 等人开发了第一个实用化的球差矫正器，用于透射电子显微镜（TEM）

...

商业公司？

主要玩家、历史玩家

境外公司

Zeiss、Thermo Fisher、JEOL、Hitachi、TeScan，...

Zeiss（蔡司）

• 成立于 1846 年
• 1950 年代进入电子显微镜市场，专注于高端扫描电子显微镜（SEM）和透射电子显微镜（TEM）。
• 并购历史
  • 1995 年，与 Cambridge Instruments 合并成立 LEO Electron Microscopy，整合 SEM 和 TEM 技术
  • 2001 年，全面收购 LEO，将其整合为蔡司显微镜部门，推出 Ultra 和 Gemini 系列高端 SEM

Hitachi（日立）

• 成立于 1910 年
• 1942 年制造日本第一台 TEM，1964 年推出商用 SEM

JEOL（日本电子，捷欧路）

• 成立于 1949 年
• 1950 年代推出首台商用 TEM，并扩展到 SEM 和 STEM

Thermo Fisher Scientific（赛默飞世尔科技）

• 成立于 2006 年（由 Thermo Electron 和 Fisher Scientific 合并）
• 并购历史
  • 2016 年，收购 FEI 后，成为电子显微镜市场的领导者
  • 2017 年，收购 Phenom-World，扩展了在桌面 SEM 市场的覆盖范围

TESCAN（泰斯肯）

• 成立于 1991 年
• 专注于中低端 SEM 和定制化显微镜，以高性价比迅速占据市场
• 并购历史
  • 2013 年，收购 Orsay Physics，一家专注于 FIB 和电子束技术的法国公司

COXEM（库赛姆）

• 成立于 2007 年
• 专注于小型扫描电子显微镜（SEM），提供高性价比产品
• 产品主要面向工业质量控制、教育市场和中小型实验室

Delong Instruments

• 成立于1992年？总部在捷克
• 专注于低能量透射电子显微镜（LVEM），适用于生物材料、聚合物和其他敏感样品研究

TEMIC（台湾电镜仪器）

• 成立于2013年
• 桌面型电镜

NanoImages

• 总部在韩国
• 专注于扫描电子显微镜（SEM），提供高性价比的工业和教育解决方案

ModuleSci

• 成立于2017年，韩国
• 桌面电镜

曾经涉足

Siemens（西门子）

• 成立于 1847 年
• 1939 年推出世界上第一台商用透射电子显微镜（TEM），名为 Siemens "Übermikroskop"
• 1970 年代退出电子显微镜市场

FEI Company

• 成立于 1971 年
• 最初专注于离子束技术，1990 年代进入 SEM 和 TEM 市场
• 并购历史
  • 1997 年，收购 Philips 的电子显微镜部门，扩展产品线
  • 2016 年，被 Thermo Fisher Scientific 以 42 亿美元收购

Phenom-World（飞纳电镜）

• 成立于 2006 年，原为 FEI 的一个部门，专注于桌面扫描电子显微镜（Desktop SEM）的研发
• 并购历史
  • 2017 年，被 Thermo Fisher Scientific 收购

Philips（飞利浦）

• 成立于 1891 年
• 1950 年代推出高性能 TEM，并成为 STEM 技术先驱之一
• 并购历史
  • 1997 年，电子显微镜部门被 FEI 收购，退出电子显微镜市场

Cambridge Instruments（剑桥仪器公司）

• 成立于 1881 年
• 1960 年代开发了世界上第一台商用 SEM，推动表面科学与材料分析的发展
• 并购历史
  • 1995 年，与蔡司电子光学部门合并成立 LEO Electron Microscopy
  • 2001 年，被蔡司全面收购

Amray（阿姆雷）

• 成立于 1963 年
• 扫描电子显微镜（SEM）的早期开发者之一
• 并购历史
  • 1997 年，被 KLA-Tencor 收购。

中国大陆

大陆的电子显微镜研发从1950年代就开始了，长春、上海、南京、北京、云南各地一度开发都很活跃；1980年代中科科仪引入的Amray的电镜技术似乎成了国产电镜独苗；直到2010年代后期国内电镜市场再次“繁荣起来”

• 中科科仪
• 聚束科技【x】
• 纳克微束
• 惠然科技
• 伯锐锶
• 国仪量子
• 慧炬科技（广州生物岛）
• 屹东光学（苏州医工所）
• 泽攸科技
• 深圳善时
• 博众仪器
• 国镜仪器
• ...

以上公司中，半数都可以追溯到成立于2006年的北京威孚物理科技（后更名为汉民微测科技，最后被ASML收购）或成立于2009年北京东方塞姆科技（威孚物理+电工所）：

通过公开的工商历史信息，还能从网上拉出当时研发人员名单出来：

参考

• https://www.thermofisher.com/blog/materials/the-history-of-the-electron-microscope/
• https://en.wikipedia.org/wiki/Scanning_transmission_electron_microscopy
• https://en.wikipedia.org/wiki/Transmission_electron_microscopy#History
• https://wayback.archive-it.org/9060/20230418185309/https://authors.library.caltech.edu/5456/1/hrst.mit.edu///hrs/materials/public/ElectronMicroscope/EM_HistOverview.htm
• https://vaccoat.com/blog/electron-microscope-invention-historical-overview/
• https://www.microscopemaster.com/electron-microscope.html