1+1=10

记记笔记,放松一下...

电子束技术网络资源小记

接前面SEM相关网络视频与文章资源,记录ebeam相关的网络链接,大杂烩

产品

抛开仪器类的 SEM、TEM、STEM 等产品,电子束在半导体行业的应用主要体现在:

  • EBI
  • DR-SEM
  • CD-SEM
  • EBL

国内相关的公司和单位有:东方晶源、上海精测、苏州矽视、惠然科技、无锡亘芯悦、 金竟科技、中电科48所、上海大尘微影、...

先接单罗列一下大致产品清单(国外):

EBI

单束

有些已经淡出这个市场:

多束

DR-SEM

  • AMAT:SEMVision G10,SEMVision G7,SEMVisoin CX300
  • KLA:eDR
  • Hitachi:CT1000,CR7300
  • Advantest:E5620(MASK)
  • Holon:LEXa-20(MASK)

CD-SEM

  • Hitachi:GT2000,CG7300,CS4800,CV6300,S9380,...
  • AMAT:VeritySEM 10,VeritySEM 6C
  • Advantest:E3650(MASK)
  • Holon:ZX-D(MASK)

淡出市场:

  • KLA:8450,8100

EBL

单束(高斯束,变型束):

  • Raith:EBPG5200,EBPG5000,Voyager,Raith150 Two,Raith150,E-Line,Pioneer
  • JEOL:JBX9500FS,JBX-8100FS G3,JBX-8100FS,JBX-A9,JBX3200MVS,JBX-3050MVS
  • ELIONIX:ELS-BODEN Σ,ELS-BODEN,ELS-HAYATE,ELS-ORCA,
  • Nuflare:EBM-9500PLUS,EBM-8000P
  • Crestec:CABL-UH,CABL-AP
  • Vistec:VISTEC SB3050-2
  • NanoBeam:nB5

淡出市场:

多束(Multi-beam,Multi-column)

曾经很有名的

  • Mapper(ASML):FLX 1200

网络知识链接

EBL

youtube视频

链接

CD-SEM

SEM